TNO

Projectnaam:

Omschrijving:

Vervuiling op de achterkant van substraten kan de kwaliteit van het productieproces aan de voorzijde en dus de beeldkwaliteit van wafer steppers negatief beïnvloeden.

Voor TNO is het mechanisch ontwerp van een reinigingsmodule gemaakt, die met behulp van drie verschillende technieken organische en anorganische vervuiling verwijdert. Dit alles gebeurt in een hoog vacuüm omgeving.

(Foto: Fred Kamphuys, Millhouse)